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NAURA, 자주적 12인치 HDPCVD장비 클라이언트 검증 단계

최근 NAURA(北方华创)에서 자체 개발한 12인치 고밀도 플라스마 CVD(HDPCVD) 장비 Orion Proxima가 공식적으로 클라이언트 검증에 들어갔다.
   NAURA는 이는 NAURA가 절연 매칠 충전기술에서 새로운 성과 취득을 의미하며 또한 NAURA가 12인치 매질 박막 장비 분야에 진입하였음을 의미한다고 하였다.